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本发明涉及一种用于制造半导体器件方法，包括提供衬底，所述衬底具有第一表面和第二表面，所述第一表面和第二表面彼此相对设置，其其中，所述衬底包括至少一个沟槽，所述沟槽形成在所述衬底的第一表面上，并且其中，所述沟槽的深度小于所述衬底的第二表面上的所述沟槽的深深度。如果您的计算机没有安装windowsserver2003，请单击"下一步"继续。
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